Organosilicon Intermediate · عامل سیلیله
هگزامتیل دیسیلازان (HMDS)
(بیس (تری متیل سیلیل) آمین / HMDS بدون آب)
| شماره CAS | 999-97-3 |
| نام IUPAC | 1،1،1،3،3،3-هگزامتیل دیسیلازان |
| مترادف ها | HMDS، هگزا متیل دیسیلازان، 1،1،1،3،3،3-هگزا متیل دیسیلازان، بیس(تری متیل سیلیل) آمین، هگزامتیل سیلازان، N-(تری متیل سیلیل) تری متیل سیلی آمین |
| فرمول مولکولی | C6H19NSi2 [(CH3)3Si–NH–Si(CH3)3] |
| وزن مولکولی | 161.39 گرم در مول |
| کد HS | 2931900090 |
| درجه موجود | صنعتی دارویی الکترونیکی (5N / 6N) |
هگزامتیل دیسیلازان (HMDS) چیست؟ یک مرور کلی
هگزامتیل دیسیلازان (HMDS)، همچنین به عنوان نوشته شده استهگزا متیل دیسیلازانیا1،1،1،3،3،3-هگزامتیل دیسیلازان(CAS 999-97-3)، یک ترکیب آلی سیلیسی بی رنگ و بسیار فرار با بوی آمونیاک مانند است.فرم کامل HMDS:هگزامتیل دیسیلازان - نامی که ساختار آن را از دو گروه تری متیل سیلیل که توسط یک اتم نیتروژن پل شده اند را منعکس می کند:(CH3)3Si–NH–Si(CH3)3. این معماری منحصربهفرد دیسیلازان سیلاسیون کارآمد گروههای عاملی پروتیک (هیدروکسیل، آمینو، کربوکسیل) و آبگریزی فوقالعاده سطح را ممکن میسازد، و HMDS را به یک معرف شیمیایی غیرقابل جایگزین در لیتوگرافی نیمهرسانا، سنتز دارویی، مواد پیشرفته و صنایع تصفیه سطح تبدیل میکند.
برخلاف عوامل سیلیکننده سنتی مانند تری متیل کلروسیلان (TMCS)، HMDS شرایط واکنش ملایمتر، بازده سیلیاسیون بالاتر و مزایای حیاتی -تولید محصول - را بهطور قابلتوجهی کاهش میدهد برای تولید با پایان{2}بالا که در آن خلوص و پاکیزگی شدید فرآیند مورد نیاز است. HMDS به سرعت با رطوبت واکنش نشان می دهد و آمونیاک آزاد می کند، بنابراین تمام گریدها باید تحت حفاظت نیتروژن نگهداری و نگهداری شوند.
ما با تولیدکنندگان پیشرو چینی - از جمله تسهیلات دارای گواهی SMIC و حافظه یانگ تسه - برای عرضه HMDS درجه صنعتی، دارویی و الکترونیکی با قیمتهای رقابتی، با بستهبندی انعطافپذیر از درامهای معرف سطح گرم- تا دستگاههای صنعتی IBC، خدمت به خریداران در آمریکای شمالی و خاورمیانه، آسیای جنوبی، همکاری میکنیم.
خواص فیزیکی و شیمیایی HMDS
مشخصات HMDS - همه درجات
| مشخصات | درجه صنعتی درمان سطحی / پرکننده ها |
درجه دارویی سنتز دارو (GMP) |
درجه الکترونیکی لیتوگرافی نیمه هادی |
|---|---|---|---|
| خلوص (GC) | بزرگتر یا مساوی 98.0٪ | بزرگتر یا مساوی 99.5% | بزرگتر یا مساوی 99.999٪ (5N) تا 6N برای گره های پیشرفته |
| محتوای آب | کمتر یا مساوی 0.1٪ | کمتر یا مساوی 0.02٪ | کمتر یا مساوی 0.005٪ (کمتر یا مساوی 50 ppm) |
| رنگ (Pt-Co) | کمتر یا مساوی 30 | کمتر یا مساوی 10 | کمتر یا مساوی 5 |
| نقطه جوش | 125-127 درجه | 126.0-126.5 درجه | 0.2 ± 126.2 درجه |
| نقطه فلاش | 17 درجه (لیوان بسته) | 17 درجه (لیوان بسته) | 17 درجه (لیوان بسته) |
| ناخالصی های فلزی | مشخص نشده است | تک یون کمتر یا مساوی 10 ppm | تک یون کمتر یا مساوی 1ppb (سطح ppt برای گره های 14 نانومتری) |
| ماندگاری | 6 ماه (N₂-مهر شده) | 12 ماه (N2- مهر و موم شده، تیره) | 18 ماه (فوق العاده-N2 تمیز- مهر و موم شده) |
| بسته بندی | درام فولادی 180 کیلوگرمی 1000 کیلوگرم IBC |
درام 20 لیتری HDPE 200 لیتر N2-درام فولادی مهر و موم شده |
درام 10 لیتری کوارتز- 200 لیتر درام فولادی فوق{1} تمیز |
مطابق با GB/T 30301-2013، REACH و TSCA است. گزارشات تست COA، SDS/MSDS و شخص ثالث در صورت درخواست موجود است.
کاربردهای HMDS و زمینه های کاربردی
1. لیتوگرافی نیمه هادی - تقویت کننده چسبندگی مقاوم به نور
HMDS استاندارد صنعت استتقویت کننده چسبندگی، پرایمر و عامل پوشش آبگریزدر لیتوگرافی ویفر سیلیکونی، بیش از حد40 درصد از کل مصرف HMDS. HMDS که بهعنوان یک آغازگر فاز بخار (VPP) قبل از پوشش مقاوم به نور استفاده میشود، با گروههای هیدروکسیل سطحی (Si-OH) روی ویفر واکنش میدهد و یک لایه تری متیل سییلیل آبگریز متراکم تشکیل میدهد. این به طور چشمگیری چسبندگی مقاوم به نور را بهبود می بخشد، از لایه برداری مقاوم در طول توسعه جلوگیری می کند، و تشکیل مهره های لبه را حذف می کند - که از الگوی دقیق مدار ریز اطمینان حاصل می کند.گره های 28 نانومتری و پایین تر.
با پیشرفت گره های نیمه هادی پیشرفته به 14 نانومتر، 7 نانومتر و فراتر از آن، الزامات خلوص افزایش یافته است.نمرات 5N (99.999%) و 6N، با ناخالصی های فلزی که در سطح ppb-ppt کنترل می شوند. محصولات HMDS درجه الکترونیکی ما از فناوری پیشرفته حذف ردیابی فلزات استفاده میکنند که با استانداردهای صلاحیت کارخانههای پیشرو از جمله SMIC، حافظه یانگ تسه، حافظه چانگسین، و UMC مطابقت دارد.
2. صنعت داروسازی - عامل سیلیله برای سنتز دارو
در سنتز دارویی، HMDS به طور گسترده ای به عنوان یک مورد استفاده می شودعامل سیلیله کنندهبرای محافظت از گروه های عاملی پروتیک واکنشی (-OH، -NH2، -COOH) در واسطه های دارویی، جلوگیری از واکنش های جانبی ناخواسته و بهبود قابل توجهی انتخاب واکنش و بازده محصول هدف. این یک معرف کلیدی در سنتز ترکیبات دارویی فعال ضد تومور، ضد ویروسی و ضد حساسیت (API) است.
HMDS درجه{0} دارویی ما ( خلوص بیشتر یا برابر با 99.5٪، GMP-سازگار) توسط شرکتهای CDMO پیشرو داروسازی تأیید شده است و کیفیت دستهای پایدار ضروری برای تحقیق و توسعه دارو و تولید-در مقیاس بزرگ ارائه میکند.
3. مواد و سطح درمان - عامل هیدروفوبیزاسیون
HMDS بسیار موثر استعامل هیدروفوبیزاسیونبرای پرکننده های معدنی مانند سیلیس دود و دی اکسید تیتانیوم. اصلاح سطح با HMDS به طور قابل توجهی سازگاری پرکننده-ماتریس را در کامپوزیت های لاستیک سیلیکونی و رزین اپوکسی بهبود می بخشد و خواص مکانیکی (چقرمگی، استحکام کششی) و مقاومت در برابر آب و هوا را افزایش می دهد. این به طور گسترده در مواد محصورکننده OLED و تصفیه شیشه ماژول فتوولتائیک استفاده میشود، جایی که سطوح اصلاحشده HMDS بهبود قابلتوجهی عملکرد سد رطوبتی را نشان میدهند و عمر مفید را در محیطهای خشن در فضای باز افزایش میدهند.
برایدرمان سطح شیشه، سرامیک و فلزHMDS یک لایه آبگریز متراکم با پیوند کووالانسی تشکیل می دهد که از جذب رطوبت و خوردگی جلوگیری می کند.
4. شیمی تجزیه و مواد شیمیایی خوب
در شیمی تجزیه از HMDS به عنوان یک استفاده می شودمعرف مشتق سازیبرای تجزیه و تحلیل GC ترکیبات پروتیک (الکل ها، فنل ها، اسیدهای کربوکسیلیک). مشتقات سیلیله فراریت بالاتر و جداسازی کروماتوگرافی بهبود یافته را نشان می دهند، که امکان تجزیه و تحلیل کمی دقیق مواد کمیاب در ماتریس های پیچیده را فراهم می کند.
در مواد شیمیایی خوب، HMDS بهعنوان واسطهای برای سورفکتانتهای{0} سیلیکونی بالا و رزینهای سیلیکونی مورد استفاده در مواد شیمیایی روزانه و چاپ پارچه عمل میکند. پیشبینی میشود که بازار HMDS درجه الکترونیکی تا سال 2026 با CAGR 18.3 درصد رشد کند که ناشی از تسریع محلیسازی نیمههادیها و گسترش ظرفیت CDMO دارویی است.
5. HMDS به عنوان پایه - LiHMDS، NaHMDS و KHMDS
فراتر از نقش خود به عنوان یک عامل سیلیله، HMDS یک پیش ساز کلیدی برای بازهای آمید فلزی است که به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرد:LiHMDS(لیتیوم هگزا متیل دیسیلازید، لیتیوم بیس (تری متیل سیلیل) آمید)،NaHMDS(هگزامتیل دیسیلازید سدیم)، وKHMDS(هگزامتیل دیسیلازید پتاسیم). این بازهای قوی و مانع، معرفهای ضروری در سنتز شیمیایی و دارویی برای تشکیل انولات انتخابی، پروتونزدایی مستقیم و واکنشهای نامتقارن هستند که در آن حجم فضایی و انتخاب شیمیایی بسیار مهم است.
LiHMDS(CAS 4039-32-1) به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرد، به دلیل بازی بودن بالا (pKa ~ 30 در THF) و حلالیت عالی در حلال های اتری ارزشمند است.NaHMDSوKHMDSواکنش پذیری فزاینده ای را ارائه می دهند و در جایی استفاده می شوند که LiHMDS به اندازه کافی واکنش پذیر نیست. هر سه از HMDS بهعنوان ماده اولیه اصلی تولید میشوند، و- عرضه HMDS با خلوص بالا برای تولید آنها حیاتی است.
ما HMDS با خلوص{0} بالا و مناسب به عنوان خوراک برای تولید LiHMDS، NaHMDS و KHMDS عرضه میکنیم. برای مشخصات عمده با ما تماس بگیرید.
HMDS چگونه ساخته می شود؟ فرآیند تولید
HMDS به صورت تجاری از طریق دو مسیر اصلی تولید می شود. سنتیفرآیند آمونولیز کلروسیلانتری متیل کلروسیلان (TMCS) با آمونیاک اضافی واکنش نشان می دهد: 2 (CH3)3SiCl + NH3 → (CH3)3Si–NH–Si(CH3)3 + 2 HCl. HCl محصول جانبی خنثی می شود و محصول خام با یکسوسازی چند مرحله ای خالص می شود. یک جایگزینفناوری ترانس آمیناسیون سبزاز هگزامتیل دی سیلوکسان (HMDSO) و آمونیاک در شرایط کاتالیزوری استفاده می کند و کلرید را توسط محصولات و اثرات زیست محیطی کاهش می دهد.
تولیدکنندگان شریک ما خطوط تولید آمونولیز پیوسته را با سیستمهای تصحیح چند مرحلهای-و تصفیه جذب الک مولکولی راهاندازی میکنند که خلوص ثابتی را از دستهای به دستهای در همه گریدها ارائه میکند.
ذخیره سازی HMDS، پایداری و حمل و نقل ایمنی
الزامات ذخیره سازی
در جای خنک (0-25 درجه)، خشک، تهویه مناسب نگهداری شودانبار ضد انفجار-دور از منابع گرما، شعله های آتش و نور مستقیم خورشید. تمام بستهبندیها باید دارای نیتروژن باشند-برای جداسازی رطوبت و هوا - HMDS در تماس با رطوبت محیط به سرعت هیدرولیز میشود. درجه صنعتی: درامهای فولادی مهر و موم شده نیتروژن{4}. درامهای دارویی و الکترونیکی: درامهای -نیتروژن تمیز- مهر و موم شده HDPE یا کوارتز- (بستهبندی تمیز ISO 14644 برای گرید الکترونیکی). از اکسید کننده ها و اسیدهای قوی با حداقل فاصله 20{13}}فوت یا 30{18}}دقیقه حریق{19}}موانع درجه بندی شده جدا کنید. حداکثر پشته: 2 لایه برای بشکه های فولادی 180 کیلوگرمی. انبار را به روشنایی ضد انفجار و کپسول های آتش نشانی پودر خشک یا CO2 مجهز کنید.
یادداشت پایداری
HMDS زمانی که خشک و تحت نیتروژن نگهداری می شود از نظر شیمیایی پایدار است. قرار گرفتن در معرض رطوبت باعث هیدرولیز می شود. قرار گرفتن در معرض اسیدهای قوی یا اکسید کننده ها ممکن است باعث واکنش های خشونت آمیز شود. از قرار گرفتن طولانی مدت در دمای بالای 30 درجه برای جلوگیری از تبخیر شدن سریع خودداری کنید.
ایمنی و جابجایی (خلاصه SDS / MSDS)
PPE مورد نیاز:لباسهای ضد الکتریسیته ساکن، دستکشهای لاستیکی نیتریل (سه لایه-برای عملیاتهای پرخطر)، عینک ایمنی شیمیایی، محافظ صورت، و دستگاه تنفس بخار آلی (SCBA برای فضاهای محدود). در حین عمل از خوردن، آشامیدن یا سیگار کشیدن خودداری کنید.
پاسخ نشت:منابع اشتعال را فورا قطع کنید، در جهت باد تخلیه کنید. منطقه نشت را ایزوله کنید. با ماسه خشک یا خاکستر سودا جذب شود - از آب استفاده نکنید. مواد جذب شده را برای دفع به ظروف در بسته منتقل کنید. از تخلیه به فاضلاب یا خاک خودداری کنید.
کمک های اولیه:پوست - لباس های آلوده را بردارید، با آب و صابون به مدت بیشتر یا مساوی 15 دقیقه بشویید. شستشوی چشمها - با آب بیش از 15 دقیقه، به دنبال مراقبتهای پزشکی باشید. استنشاق - بلافاصله به هوای تازه منتقل شود. بلع - باعث استفراغ نمی شود. به دنبال مراقبت های پزشکی اورژانسی باشید PDF کامل SDS/MSDS در تیم فروش ما موجود است.
قیمت HMDS - 2025 مرجع بازار
راقیمت HMDS(قیمت هگزامتیل دیسیلازان) با درجه خلوص، مشخصات بسته بندی و حجم سفارش به طور قابل توجهی متفاوت است. موارد زیر قیمتهای مرجع سال 2025 برای محصول مبدأ چین (-بر اساس کار) است:
بزرگتر یا مساوی 98.0٪
بزرگتر یا مساوی 99.5%
بزرگتر یا مساوی 99.999٪ (5N)
سوالات متداول در مورد HMDS
س: HMDS مخفف چیست؟ فرم کامل HMDS چیست؟
HMDS مخففهگزامتیل دیسیلازان- نام شیمیایی کامل 1،1،1،3،3،3-هگزامتیل دیسیلازان است که به صورت هگزا متیل دیسیلازان نیز نوشته میشود. در شیمی، HMDS به طور خاص به این ترکیب ارگانوسیلیک (CAS 999-97-3) با ساختار (CH3)3Si-NH-Si (CH3)3 اشاره دارد. توجه: "HMDS" همچنین به عنوان مخفف در زمینه های غیر مرتبط (به عنوان مثال، زمینه های پزشکی، نظامی یا کشاورزی) استفاده می شود، اما در زمینه های شیمی و تولید نیمه هادی، HMDS همیشه به معنای هگزامتیل دیسیلازان است.
س: HMDS برای چه چیزی در تولید نیمه هادی استفاده می شود؟
HMDS به عنوان یک پروموتر چسبندگی فاز بخار (پرایمر) استفاده می شود که قبل از پوشش مقاوم به نور روی سطوح ویفر سیلیکونی اعمال می شود. با گروههای Si-OH سطح واکنش نشان میدهد و یک تک لایه تری متیل سییلیل آبگریز را تشکیل میدهد که به طور چشمگیری چسبندگی مقاوم به نور را بهبود میبخشد، از لایهپوشی در طول توسعه مرطوب جلوگیری میکند و دقت ابعادی الگوهای مدار ظریف را تضمین میکند. این یک ماده فرآیندی استاندارد در تقریباً هر کارخانه ویفر سیلیکونی در سطح جهان است، از خطوط قدیمی 200 میلیمتری تا خطوط لیتوگرافی 300 میلیمتری EUV پیشرو.
س: تفاوت بین درجه صنعتی و HMDS الکترونیکی چیست؟
درجه صنعتی (بیشتر یا مساوی 98.0٪) برای عملیات سطحی پرکننده ها (سیلیس دود شده، TiO2)، پوشش ها، و کاربردهای کلی سیلیله که در آن مقدار کمی فلز حیاتی نیست، مناسب است. درجه الکترونیکی (بیشتر یا مساوی 99.999%، 5N) به ناخالصیهای فلزی کمتر از 1ppb - برای لیتوگرافی نیمه هادی اجباری نیاز دارد که در آن آلودگی فلزی زیر-ppb باعث خرابی دستگاه میشود. Electronic Grade تحت شرایط ISO 14644 فوقالعاده تمیز در درامهای فولادی فوق تمیز{10}کوارتز{10}}خطدار یا گواهی شده{11}}، با هر دسته همراه با یک گزارش کامل ICP{12}} MS فلزات کمیاب بستهبندی میشود.
س: چرا HMDS با آب واکنش نشان می دهد و چگونه باید آن را ذخیره کرد؟
HMDS حاوی یک پیوند Si-N-Si است که به شدت به هیدرولیز حساس است: (CH3)3Si-NH-Si(CH3)3 + H2O → 2 (CH3)3SiOH + NH3. آمونیاک آزاد شده باعث ایجاد فشار در ظروف در بسته می شود و هگزامتیل دی سیلوکسان (HMDSO) محصول را آلوده می کند. بنابراین، همه گریدها باید در زیر نیتروژن خشک در ظروف در بسته، در دمای 0 تا 25 درجه، دور از هرگونه منبع رطوبتی نگهداری شوند. ظروف باز باید بلافاصله بعد از هر بار استفاده مجدداً مهر و موم شوند و با نیتروژن پوشانده شوند.
س: HMDS چیست و چه تفاوتی با HMDSO دارد؟
HMDS (هگزامتیل دیسیلازان، CAS 999-97-3) حاوی یک پیوند Si-N-Si است و معرف سیلیله کننده فعال است. HMDSO (هگزامتیل دیسیلوکسان، CAS 107-46-0) حاوی یک پیوند Si–O–Si است و محصول جانبی هیدرولیز HMDS است - واکنش بسیار کمتری دارد. HMDS به عنوان یک اصلاح کننده سطح شیمیایی و معرف سیلیلاسیون استفاده می شود. HMDSO عمدتا به عنوان مایع سیلیکونی غیر واکنشی و ماده خام برای سنتز HMDS استفاده می شود. هنگام تعیین مواد برای لیتوگرافی یا فرآیندهای دارویی، نباید این دو را اشتباه گرفت.
س: چه گواهینامه هایی را باید از یک تامین کننده HMDS درخواست کنم؟
برای کاربردهای صنعتی: ISO 9001 (مدیریت کیفیت) و ISO 14001 (محیط زیست). برای درجه دارویی: انطباق با GMP، توانایی ارائه USP/EP{3}}COA ارجاعشده و گزارشهای QC شخص ثالث{4}. برای درجه الکترونیکی: تأیید صلاحیت فابرهای نیمه هادی پایین دستی (به عنوان مثال، گواهینامه های SMIC، UMC)، انطباق با استانداردهای SEMI F47 یا مواد معادل، گزارش کامل ICP{9}} MS ردیابی فلزات در هر دسته، و بسته بندی تمیز دارای گواهی ISO 14644. همه گریدها باید دارای ثبت نام های REACH و TSCA برای صادرات بین المللی باشند.
س: وقتی HMDS با آب واکنش می دهد چه اتفاقی می افتد؟
HMDS به سرعت با آب از طریق هیدرولیز واکنش می دهد: (CH3)3Si–NH–Si(CH3)3 + H2O → 2 (CH3)3SiOH → (CH3)3Si–O–Si(CH3)3+NH3. محصولات هگزامتیل دی سیلوکسان (HMDSO) و آمونیاک هستند. این واکنش گرمازا است و گاز آمونیاک تولید می کند که در ظروف در بسته فشار ایجاد می کند و خلوص محصول را کاهش می دهد. به همین دلیل است که تمام گریدهای HMDS - از جمله صنعتی - باید همیشه در زیر نیتروژن خشک ذخیره و نگهداری شوند. حتی رطوبت محیط می تواند هیدرولیز آهسته را در طول دوره های ذخیره سازی طولانی شروع کند.
س: جایگزین های اصلی HMDS چیست و چه زمانی HMDS ترجیح داده می شود؟
جایگزین های رایج عامل سیلیله شامل تری متیل کلروسیلان (TMCS)، N-متیل-N{2}}تری متیل سیلی استامید (MSA) و N,O{3}}بیس(تری متیل سیلیل)استامید (BSA) می باشد. HMDS زمانی ترجیح داده میشود که به شرایط واکنش ملایم نیاز باشد (بدون HCl توسط محصول)، زمانی که بازده سیلیلاسیون بالا حیاتی است، یا زمانی که فرآیند نیاز به حداقل آلودگی ناشی از اسیدی یا خورنده توسط-محصولات - دارد و آن را به انتخاب استاندارد برای درمان ویفر نیمهرسانا و سنتز دارویی میکند. برای هیدروفوبیزاسیون صنعتی انبوه که در آن هزینه محرک اصلی است، TMCS ممکن است به عنوان جایگزین هزینه کمتر استفاده شود.
مراجع و استانداردهای صنعت
خواص فیزیکوشیمیایی جامع، داده های سم شناسی، طبقه بندی GHS و اطلاعات نظارتی.
استانداردهای بین المللی برای مشخصات خلوص مواد نیمه هادی و پروتکل های صلاحیت.
پرونده رسمی اتحادیه اروپا REACH: طبقه بندی خطر، سناریوهای مواجهه، و وضعیت نظارتی.
مرجع جهانی برای معرفهای تحلیلی و{0}}با خلوص بالا؛ استاندارد مرجع برای معیار کیفیت HMDS.
دریافت قیمت · مشاوره فنی
قیمت HMDS و پشتیبانی محصول را درخواست کنید
ما HMDS درجه صنعتی، دارویی و الکترونیکی (CAS 999-97-3) را با قیمت رقابتی و بسته بندی انعطاف پذیر عرضه می کنیم. برای دریافت قیمت مناسب، SDS/MSDS یا راهنمایی برنامه با تیم ما تماس بگیرید.
محصولات مرتبط: تری متیل کلروسیلان (TMCS) · هگزامتیل دی سیلوکسان (HMDSO) · سایر واسطه های ارگانوسیلیکن
تگ های محبوب: هگزامتیل دیسیلازان، تولید کنندگان، تامین کنندگان هگزامتیل دیسیلازان چین, هگزامتیل دیسیلازان CAS NO, پتاسیم هگزامتیل دی سیلازان, CAS آنهیدرید پروپیونیک, پروپیونیل کلراید, سولفولان, نقطه جوش سولفولان
